000    nam0
001 __ 0194042916
005 __ 20100303210214.0
010 __ ■a7-118-01141-X■dCNY11.40
100 __ ■a19931213d1994    em y0chiy0110    ea
101 1_ ■achi■cjpn
102 __ ■aCN■b110000
105 __ ■ay   z   000yy
106 __ ■ar
200 1_ ■a等离子体与成膜基础■Adeng li zi ti yu cheng mo ji chu■f(日)小沼光晴著■g张光华编译
210 __ ■a北京■c国防工业出版社■d1994.6
215 __ ■a238页■d19cm
304 __ ■a小沼光晴,日本著名学者、博士,德国斯图加特Max-Planck学会固体研究所任职
330 __ ■a分:等离子体的概念和状态、低温等离子体与成膜、非晶硅薄膜的高速沉积等9章。
606 0_ ■a等离子体物理学■x薄膜物理学
606 0_ ■2CT■3S012876■a等离子体物理学
606 0_ ■2CT■3S005217■a薄膜物理学
690 __ ■aO53■v三版
690 __ ■aO484■v三版
692 __ ■a53.815
701 _0 ■a小沼光晴■Axiao zhao guang qing■4著
702 _0 ■a张光华■Azhang guang hua■4编译
801 __ ■aCN■bNLC■c20100603