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005 __ 20100303210214.0
010 __ ■a7-5609-0874-8■dCNY3.90
100 __ ■a19940505d1993    em y0chiy0110    ea
101 0_ ■achi■deng
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106 __ ■ar
200 1_ ■a薄膜生长理论■Abo mo sheng zhang li lun■f王敬义主编
210 __ ■a武汉■c华中理工大学出版社■d1993.11
215 __ ■a428页■d20cm
300 __ ■a研究生用书
300 __ ■a英文题名:Theory of thin film growth
304 __ ■a王敬义(1934～ ),江西安福人,华中理工大学固体电子学系主任,教授,全国工科电子类教学指导委员会委员等职
330 __ ■a本书包括流体力学、传质、传热、化学反应动力等有关薄膜气相生长的理论基础和热CVD及等离子体淀积两部分专论。
510 1_ ■aTheory of thin film growth■zeng
606 0_ ■a薄膜生长■x研究生■x教材
606 0_ ■2CT■3S005213■a薄膜生长
690 __ ■aO484.1■v三版
692 __ ■a53.81961
701 _0 ■a王敬义■Awang jing yi■f(1934~)■4主编
801 __ ■aCN■bNLC■c20100603