硅外延生长技术/(美)贝利加(Baliga,B.Jayant)主编
标准编号:7-5375-0866-6   
主要著者:贝利加  主编  Baliga  主编  
次要著者:任丙彦    
出版信息:       
载体形态:399页 ; 19cm
价格描述:CNY6.40
主题词:  外延生长  
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内容摘要

本书介绍了硅气相外延,硅液相外延,绝缘体上的硅外延等方面的基础理论、工艺技术及质量检测技术等。
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