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005 __ 20100303210214.0
010 __ ■a7-5359-0957-4■dCNY5.40
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106 __ ■ar
200 1_ ■a机电产品微细加工技术与工艺■Aji dian chan pin wei xi jia gong ji shu yu gong yi■f胡耀志等编著
210 __ ■a广州■c广东科技出版社■d1993.2
215 __ ■a365页■d19cm
304 __ ■a胡耀志(1931- ),广东潮安人,华南工学院教授
330 __ ■a本书从机电一体化的角度,论述了精密机械和微电子技术这两方面的微细加工技术与工艺,介绍了集成电路的生产技术、工艺原理和加工方法。
606 0_ ■a微电子技术■x应用■x机电
606 0_ ■2CT■3S901093■a机电
606 0_ ■2CT■3S077523■a微电子技术
690 __ ■aTH16■v三版
692 __ ■a78.15
701 _0 ■a胡耀志■Ahu yao zhi■4编著
801 __ ■aCN■bNLC■c20100603