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200 1_ ■a半导体器件制造工艺常用数据手册■Aban dao ti qi jian zhi zao gong yi chang yong shu ju shou ce■f刘秀喜,高大江编
210 __ ■a北京■c电子工业出版社■d1992.9
215 __ ■a602页■d26cm
225 2_ ■a电子工程手册系列丛书■vB5
330 __ ■a本手册包括:物理常数、常用元素、杂质及扩散源、电热材料、工艺安全、管壳外形标准化等
410 _0 ■12001■a电子工程手册系列丛书
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