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010 __ ■a7-118-00496-0■b精装■dCNY55.10
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200 1_ ■a电子工业生产技术手册■Adian zi gong ye sheng chan ji shu shou ce■h8■i半导体与集成电路卷■f《电子工业生产技术手册》编委会编
210 __ ■a北京■c国防工业出版社■d1992.5
215 __ ■a1022页■d26cm
330 __ ■a本书共16章。阐述了化合物半导体器件及集成电路的清洗与腐蚀、外延、离子注入通用工艺,同时介绍了包括微波及毫米波二端器件、场效应器件的设计与制造与可靠性,及新器件和集成技术。
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690 __ ■aTN-62■v三版
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711 _2 ■a本书编委会■Aben shu bian wei hui■4编
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