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200 1_ ■a集成电路掩膜技术■Aji cheng dian lu yan mo ji shu■f(　)埃利奥特著(Elliott,D.J.)■g宋柏泉等译
210 __ ■a上海■c上海交通大学出版社■d1989.11■h1991.11印
215 __ ■a240页■c照片■d20cm
330 __ ■a本书阐述了制备集成电路掩膜的全过程，包括掩膜版玻璃基板制备、图形设计和数据生产、涂敷、刻蚀成像、图形测量、质量控制、生产技术等。
606 0_ ■a集成电路工艺■x掩模
606 0_ ■2CT■3S036219■a集成电路工艺
606 0_ ■2CT■3S906646■a掩模
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701 _1 ■a埃利奥特■Aai li ao te■bD.J.■4著
701 _1 ■aElliott■AElliott■bDavid.J.
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