000    nam0
001 __ 0192034223
005 __ 20100303210214.0
010 __ ■a7-5053-1527-7■dCNY10.50
092 __ ■a科技260-048
100 __ ■a19921119d1992    em y0chiy0110    ea
101 2_ ■achi■aeng
102 __ ■aCN■b110000
105 __ ■ay   z   001yy
106 __ ■ar
200 1_ ■a微电子生产工艺实用手册■Awei dian zi sheng chan gong yi shi yong shou ce■f王家源,刘长恩主编
210 __ ■a北京■c电子工业出版社■d1992.6
215 __ ■a437页■d20cm
330 __ ■a本书共收入了微电子产品制造技术、生产工艺、生产装置、成套设备、检测仪器、原辅材料、辅助设施、工具及零部件等方面的词条900余条,并附汉-英和英-汉词条索引。
606 0_ ■a微电子技术■x生产工艺■x手册
606 0_ ■2CT■3S077523■a微电子技术
690 __ ■aTN405-62■v三版
692 __ ■a73.75073
701 _0 ■a王家源■Awang jia yuan■4主编
701 _0 ■a刘长恩■Aliu chang en■4主编
801 __ ■aCN■bNLC■c20100603