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200 1_ ■a材料表面薄膜技术■Acai liao biao mian bao mo ji shu■f杨烈宇等编著
210 __ ■a北京■c人民交通出版社■d1991.5
215 __ ■a698页■d19cm
330 __ ■a本书介绍了薄膜制作的主要技术、形成机理、制作中的相关问题，以及薄膜的多种力学、电学、磁学、光学和半导体、超导体薄膜的性质及其在多种领域中的应用。
606 0_ ■a薄膜■x技术
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