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200 1_ ■a等离子体表面工程■Adeng li zi ti biao mian gong cheng■f杨烈宇主编
210 __ ■a北京■c中国科学技术出版社■d1991.7
215 __ ■a272页■d26cm
225 2_ ■a等离子体表面工程译丛
300 __ ■a版权页有编者:(德)E.布罗奇特
330 __ ■a本书内容包括等离子体技术的理论、PVD技术等和等离子体技术在摩擦领域、微电子学方面的应用及等离子体技术在测试和表面分析方面的应用。
410 _0 ■12001■a等离子体表面工程译丛
606 0_ ■a等离子体应用■x金属表面处理
606 0_ ■2CT■3S012878■a等离子体应用
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690 __ ■aTG17■v三版
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701 _0 ■a杨烈宇■Ayang lie yu■4主编
801 __ ■aCN■bNLC■c20100603