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200 1_ ■a微细加工技术■Awei xi jia gong ji shu■f蒋欣荣编著
210 __ ■a北京■c电子工业出版社■d1990.6
215 __ ■a405页■d20cm
300 __ ■a高等学校教材
330 __ ■a本书介绍了利用电子束、离子束、光子束、原子束、等离子体、超声等手段,对不同材料进行各种光刻、刻蚀、制膜、掺杂、退火和材料改性及切削、焊接、打孔等微细加工的原理、方法和工艺过程等。
606 0_ ■a特种加工■x高等学校■x教材
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701 _0 ■a蒋欣荣■Ajiang xin rong■4编著
801 __ ■aCN■bNLC■c20100603