真空沉积技术/李学丹等编著
标准编号:7-308-01326-X   
主要著者:李学丹  编著  
出版信息:       
载体形态:242页 ; 26cm
价格描述:CNY7.45
主题词:真空沉积  技术  
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内容摘要

本书内容有:真空与低温等离子体物理基础、成膜技术、薄膜的检测与分析等。
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